烟囱的作用是什么？烟囱有哪几种型式？特点是什么？
答：加热炉的烟囱有两个作用：一是降烟气排入高空，减少地面的污染；二是当加热炉采用自然通风燃烧时，利用烟囱形成的抽力将外界空气吸入炉内供燃料燃烧。
烟囱按材质分为：砖烟囱、钢筋混凝土烟囱、钢烟囱三种。砖烟囱较便宜，砖导热性较差，壁较厚，内外壁温差较大，设计或施工不当则易产生裂纹，影响排烟。此外，砖烟囱不宜在地震烈度较高的地区使用。钢筋混凝土烟囱对热应力适应性较强，烟囱可高达150米以上。钢烟囱的最.大优点轻便，微型管式炉，抗地震性能较好。当烟囱高度低于30米时，可以直接放在加热炉的对流室上部，结构紧凑；钢烟囱的缺点是易受烟气腐蚀。
沉积的均匀性与电极和腔室的设计很有关系。管式PECVD系统由于其石墨舟中间镂空，管式炉，因此利用了硅片作为电极的一部分，粗苯管式炉，因此辉光放电的特性就与硅片表面的特性有了一定的关系，比如硅片表面织构化所生成的金子塔尖端的状态就对等离子体放电产生影响，而目前硅片的电导率的不同也影响到等离子场的均匀性。另外管式PECVD的气流是从石英管一端引入，这样也会造成工艺气体分布的不均匀。
板式PECVD系统使用了衬底板作为电极，而且采用匀气的Shower系统，但是由于衬底板在长期加热后会有稍微的翘曲，从而造成平行板电极间距的不一致，也会造成片间不均匀。另外，等离子体直接法在大面积沉积时会造成由于高频波长所带来的附加的不均匀性。
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