目前，pecvd管式炉，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。
除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied
Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，cvd管式炉，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，1600 管式炉，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积速率很高。
如果按照PECVD系统所使用的频率范围，管式炉，又可将其分成以下几类：
■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司
■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统
■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统
■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法
■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法
■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统
■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。
管式加热炉的余热回收系统包括哪些方面？
答：包括余热锅炉、空气预热器、鼓风机、引风机、烟风道及其调节和截断用蝶阀等，如图8所示。
什么叫燃烧器？燃烧器的组成和种类有哪些？
答：燃烧器是一种将燃料和空气按照所需混合比和流速在湍流条件下集中送入炉内，确保和维持点火及燃烧条件的部件。燃烧器通常由燃料喷嘴、配风器和燃烧道三个部分组成。燃烧器的种类有燃油燃烧器、燃气燃烧器和油-气联合燃烧器。
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