目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。
除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied
Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，回转管式炉，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积速率很高。
如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：
■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司
■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统
■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统
■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法
■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法
■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统
■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。
辐射室和对流室的热负荷是如何分配的？
答：辐射对流型的加热炉热负荷分配如下。
1）筒形立管式加热炉：
对流段采用钉头管或翅片管时，辐射占70％～80％，对流占20％～30％。
对流段采用非钉头管或翅片管时，龙口管式炉，辐射占70％～75％，对流占25％～30％。
2) 卧管立式炉：辐射占70％－75％，对流占25％－30%。
21什么叫圆筒炉？圆筒炉有什么特点？
答：顾名思义，辐射室为圆筒形的管式炉叫圆筒炉，辐射管式炉，对流室和烟囱布置在辐射室的上部，燃烧室布置在炉底，向上烧火。辐射室炉管排列有立管和螺旋两种，对流室炉管一般是水平布置的。圆筒炉结构简单，管式炉，制造安装方便，投资少，占地少。适用于中小负荷的管式炉，一般25MW以下的炉子优先选用圆筒炉。
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