RK-1200T-S6015LK1-H系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率ZUI大可达100°C/m。为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，管式炉，是低成本快速热处理的理想炉子。
集合管的结构有哪几种？
答：由于工艺介质进口温度较低，1200管式炉，上集合管的直径一般较小，焦化管式炉，材料较低。为了解决热补偿问题，一般采用固定支座和轴向滑动轴承支座相结合的支撑方式。
下集合管有全热壁、冷—热壁、全冷壁三种结构。
1）全热壁结构的支集合管和总集合管均为热壁，外保温或置于保温箱内(如图17所示)，因其造价高和膨胀问题难以解决，现在已很少使用。
2）冷—热壁混合的支集合管采用热壁结构，cvd 管式炉，外保温或与下尾管一起置于保温箱内。一般在在支集合管的中间采用固定支座，两端采用滑动支座，往总集合管去的连接管也置于中间，连接管只承受总集合管热膨胀引起的位移，而总集合管一般采用冷壁结构。
3）冷壁结构的总集合管一般分为三层结构，承压的外壳一般采用碳钢或低合金钢，中间是保温层，内部是高合金25-20或Lncoloy800H衬套以防止气流对保温层的冲刷。
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