为什么管内结焦会使管壁温度上升，并使炉管损坏：管内壁结上一层焦炭以后，增加了一层焦垢热阻，使管壁温度升高。其后，一体式实验炉，气相和液相介质将继续渗透到焦层的空隙中去，继续结焦，开启式实验炉，逐渐形成越来越厚的坚实的焦层，使管内温度急剧上升。当温度升高到允许值以上，加剧了炉管的腐蚀和高温氧化，使管壁厚度减薄，引起炉管鼓包、破裂。同时使管内压力降升高，炉子操作性能恶化甚至造成装置停产。
化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，广西壮族自治区实验炉，大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说，铜合金实验炉，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子，它是由硅烷和氮反应形成的。
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