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管内气液两相流压力降确定的复杂性:(1)气液两相流没有直接的类似于摩擦系数与雷诺数之间的关系。(2)气液相流速不同,存在相对运动,产生内摩擦损失而使压力降低。(3)由于液相滞留量存在,管内实际流通截面积减小,会使压力降增加。(4)在垂...


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管内气液两相流压力降确定的复杂性:

(1)气液两相流没有直接的类似于摩擦系数与雷诺数之间的关系。

(2)气液相流速不同,存在相对运动,产生内摩擦损失而使压力降低。

(3)由于液相滞留量存在,管内实际流通截面积减小,会使压力降增加。

(4)在垂直管内,液相连续不断的上升和下降,也会消耗能量而形成压力降。

炉管内气液两相流的适宜流型:

炉管内汽液两相流的流型最.好是雾状流(不允许出现液节流);

泡点附近允许出现环状流或分散气泡流,竖式管式炉,除此之外,其它流型均应避免;

当定位点表示的流型完全不符合要求时,可以缩小炉管直径或加大注入的水蒸汽量来获得适宜的流型。


化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,管式炉蒸氨,大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说,它是很简单的:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,管式炉,形成一种新的材料,沉积到晶片表面上。淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子,它是由硅烷和氮反应形成的。


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