目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，1800高温炉，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。
除了上述几种模式的PECVD系统外，高温炉子，美国的Applied
Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，高温炉，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积速率很高。
如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：
■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司
■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统
■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统
■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法
■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法
■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统
■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。
1200度真空管式炉 RK1200系列
RK1200系列产品用途：
主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、真空镀膜、CVD实验、物质成分测量等场合。
产品尺寸：
RK1200系列产品分为四个型号：RK1200-60 、RK1200-80 、RK1200-100 、RK1200-120
使用容积均为3L，炉膛尺寸分别对应wie：Φ60*1000mm 、Φ80*1000mm 、Φ100*1000mm 、Φ120*1000mm
高温炉_箱式高温炉_热科炉业(优质商家)由郑州热科炉业有限公司提供。郑州热科炉业有限公司（www.rekelu.cn）为客户提供“加热设备,耐火材料,加热元件,陶瓷制品,仪器仪表,真空设备”等业务，公司拥有“热科”等品牌。专注于电热设备等行业，在河南 郑州 有较高知名度。欢迎来电垂询，联系人：吕经理。