目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。
除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied
Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，水平管式炉，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积速率很高。
如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：
■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司
■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统
■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统
■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法
■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法
■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统
■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。
加热炉回火的现象及原因是什么？应该怎样预防？
答：现象：炉膛内产生正压，防爆门顶开，火焰喷出炉膛，回火伤人或炉膛内发生爆.炸而造成设备的损坏。
原因：
1)燃料油大量喷入炉内或瓦斯大量带油；
2)烟道档板开度过小，降低了炉子抽力，使烟气排不出去；
3)炉子超负荷运行，烟气来不及排放；
4)开工时点火发生回火，主要是瓦斯阀门不严，加热管式炉，使瓦斯串入炉内，或因一次点不着，再次点火前如炉膛吹扫不净，造成炉膛爆.炸回火。
预防措施：
1)严禁燃料在点燃前大量进入炉内，管式炉配件，瓦斯严禁带油；
2)搞清烟道档板的实际位置，管式炉，严防在调节烟道档板时将档板关死或关得太小；
3)不能超负荷运行，应使炉内始终保持负压操作；
4)加强设备管理，瓦斯阀门不严的要及时更换修理；
5)开工点火前应注意检查瓦斯和燃料油的阀门是否严密，每次点火前必须将炉膛内的可燃气体用蒸汽吹扫干净。
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