烟囱高度和炉子本身高度各有什么作用：
烟囱高度所形成的抽力用于：克服烟气流动过程中的总压力降，真空炉 作用，克服空气通过燃烧器的压力降，保证炉膛内具有一定负压。炉子本身高度所形成的抽力：辐射室高度所形成的抽力用于克服空气通过的燃烧器阻力，对流室高度所形成的抽力用来保证辐射室顶的负压和克服烟气通过对流室的压力降的一部分。
目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。
除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied
Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，1200真空炉，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，山东省真空炉，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，电真空炉，安全性提高很多，另外沉积速率很高。
如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：
■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司
■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统
■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统
■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法
■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法
■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统
■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。
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