目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。
除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied
Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，马弗炉，另外沉积速率很高。
如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：
■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司
■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统
■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统
■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法
■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法
■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统
■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。
为什么管内结焦会使管壁温度上升，并使炉管损坏：管内壁结上一层焦炭以后，增加了一层焦垢热阻，马弗炉哪家好，使管壁温度升高。其后，气相和液相介质将继续渗透到焦层的空隙中去，继续结焦，逐渐形成越来越厚的坚实的焦层，使管内温度急剧上升。当温度升高到允许值以上，高温马弗炉生产厂家，加剧了炉管的腐蚀和高温氧化，使管壁厚度减薄，引起炉管鼓包、破裂。同时使管内压力降升高，炉子操作性能恶化甚至造成装置停产。
高温马弗炉生产厂家,马弗炉,热科炉业马弗炉由郑州热科炉业有限公司提供。郑州热科炉业有限公司（www.rekelu.cn）为客户提供“加热设备,耐火材料,加热元件,陶瓷制品,仪器仪表,真空设备”等业务，公司拥有“热科”等品牌。专注于电热设备等行业，在河南 郑州 有较高知名度。欢迎来电垂询，联系人：吕经理。