马弗炉， 在中国的通用叫法有以下几种:电炉、电阻炉、茂福炉、又称箱式电阻炉。高温马弗炉，是一种通用的加热设备.可分为箱式炉 管式炉 坩埚炉。有国产马弗炉和进口马弗炉（美国马弗炉、德国马弗炉等），实验管式炉，马弗炉系周期作业式，工业管式炉，供实验室、工矿企业、科研单位作元素分析测定和一般小型钢件淬火、退火、回火等热处理时加热用，高温炉还可作金属、陶瓷的烧结、溶解、分析等高温加热用。
方法的优缺点比较
各种方法都有其有缺点：从大的方面讲，中环管式炉，直接PECVD法对样品表面有损伤，会增加表面少子的复合，但是也正是由于其对表面的轰击作用，可以去除表面的一些自然氧化层，使得表面的杂质原子得到抑制，江西省管式炉，另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中，使得晶界钝化更充分。
使用不同频率的PECVD系统，也各有一定的优缺点：
（1）频率越高均匀面积越小，越难于达到大面积均匀性。
（2）频率越低对硅片表面的损伤越严重。
（3）频率越低离子进入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的钝化。
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