热科炉业(图),管式炉石英管,管式炉

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什么叫硫腐蚀?硫腐蚀有哪些形态?答:硫含量在0.5%~1.5%之间的称为含硫原.油,硫含量高于1.5%的称为高硫原.油。硫腐蚀主要取决于介质中含硫化物的种类、含量合稳定性。参与腐蚀反应的有效硫化物含量(如H2S、单质硫、硫醇R-SH等...


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什么叫硫腐蚀?硫腐蚀有哪些形态?

答:硫含量在0.5%~1.5%之间的称为含硫原.油,硫含量高于1.5%的称为高硫原.油。

硫腐蚀主要取决于介质中含硫化物的种类、含量合稳定性。参与腐蚀反应的有效硫化物含量(如H2S、单质硫、硫醇R-SH等活性硫),易分解为H2S的硫化物的含量越高,则对炉管的腐蚀性越强。

从腐蚀形态分,硫腐蚀可以分为均匀腐蚀、点蚀、缝隙腐蚀、应力腐蚀开裂(SCC)、湿硫化氢引起的氢鼓泡(HB)、氢致开裂(HIC)、含硫化物应力腐蚀开裂(SSCC)、应力导向氢致开裂(SOHIC)等。



分类

CVD技术常常通过反应类型或者压力来分类,包括低压CVD(LPCVD),常压CVD(APCVD),亚常压CVD(SACVD),超高真空CVD(UHCVD),管式炉,等离子体增强CVD(PECVD),高密度等离子体CVD(HDPCVD)以及快热CVD(RTCVD)。然后,还有金属有机物CVD(MOCVD),根据金属源的自特性来保证它的分类,这些金属的典型状态是液态,在导入容器之前必须先将它气化。不过,容易引起混淆的是,有些人会把MOCVD认为是有机金属CVD(OMCVD)。

过去,对LPCVD和APCVD最常使用的反应室是一个简单的管式炉结构,即使在今天,管式炉也还被广泛地应用于沉积诸如Si3N4 和二氧化硅之类的基础薄膜(氧气中有硅元素存在将会最终形成为高质量的SiO2,但这会大量消耗硅元素;通过硅烷和氧气反应也可能沉积出SiO2 -两种方法均可以在管式炉中进行)。

最近,单片淀积工艺推动并导致产生了新的CVD反应室结构。这些新的结构中绝大多数都使用了等离子体,其中一部分是为了加快反应过程,也有一些系统外加一个按钮,管式炉石英管,以控制淀积膜的质量。在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量,硅碳棒管式炉,偏压以及其它参数,可以同时有沉积和蚀刻反应的功能。通过调整淀积:蚀刻比率,有可能得到一个很好的缝隙填充工艺。


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