用金刚石线锯切割脆性半导体材料的工艺最早由Mech于20世纪70年代提出。历经几十年的发展，金刚石线锯切割技术得到了长足的发展。但是总体来说，金刚石线锯的切割形式可以分为三种:绕线式、往复式和环形回转式。绕线式金刚石线锯切割时锯丝从一个导轮绕到另一个导轮上，环形纱线切割的性能，可实现较高速的切割;往复式金刚石线锯，可对被切工件进行曲面的切割;环形回转式金刚石线锯是通过将锯丝焊接成环形进行切割，环形纱线切割机，其使用寿命较长，切割速度较快。郑州元素工具技术有限公司所研发的环形金刚石为电镀金刚石线。
线锯切割包括钢丝锯切割、金刚石串珠锯切割和金刚石线锯切割三种方式。钢丝锯切割一般为往复式运动，但由于钢丝长度较为有限，切割效率较低。金刚石串珠锯由钢丝绳芯、金刚石串珠和隔离套组成，串珠以一定间隔穿在绳芯上，并由隔离套分开，它是伴随着大理石开采而发展起来的一种切割工具，后来又应用于玻璃等超硬材料的切割，环形纱线切割机好用，通常由电镀法和热压烧结法制得。电镀法制得的串珠锯虽然有较快的切割速度，环形纱线切割机的效率，但是金刚石磨损脱落现象严重，使用寿命较短;热压烧结法制得的串珠锯由于可以不断补充磨料，大大延长了使用寿命。金刚石线锯是将金刚石磨料固结于基体上的一种切割工具。金刚石线锯不仅可以加工普通硬脆材料，因其切缝可小于0.5 mm，还特别适用于切割玛瑙、宝石等贵重的硬脆材料。
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