动态轨迹修正技术：通过传感器信息和机器人运动信息的融合，商用机器人厂家，检测出晶圆与手指之间基准位置之间的偏移，通过动态修正运动轨迹，商用机器人规格，保证机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位。符合SEMI标准的真空机器人语言：根据真空机器人搬运要求、机器人作业特点及SEMI标准，商用机器人价格，完成真空机器人专用语言。可靠性系统工程技术：在IC制造中，西安商用机器人，设备故障会带来巨大的损失。根据半导体设备对MCBF的高要求，对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制，提高机械手各个部件的可靠性，从而保证机械手满足IC制造的高要求。
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