沉积的均匀性与电极和腔室的设计很有关系。管式PECVD系统由于其石墨舟中间镂空，管式炉，因此利用了硅片作为电极的一部分，因此辉光放电的特性就与硅片表面的特性有了一定的关系，高温cvd管式炉，比如硅片表面织构化所生成的金子塔尖端的状态就对等离子体放电产生影响，而目前硅片的电导率的不同也影响到等离子场的均匀性。另外管式PECVD的气流是从石英管一端引入，这样也会造成工艺气体分布的不均匀。
板式PECVD系统使用了衬底板作为电极，而且采用匀气的Shower系统，但是由于衬底板在长期加热后会有稍微的翘曲，从而造成平行板电极间距的不一致，也会造成片间不均匀。另外，等离子体直接法在大面积沉积时会造成由于高频波长所带来的附加的不均匀性。
管式炉炉体系统：
1、炉墙：其普遍采用的是耐火层-保温层-保护层的结构，要求其绝热良好，热损失小，牢固可靠，重量轻而价廉，易于建造和维修。耐火层须能耐一定高温，管式高温扩散炉，常用材料是耐火砖、耐热混凝土、耐火纤维毡等；保温层应具有良好的保温性，常用材料有硅藻土、.膨胀珍珠岩等；保护层可以用石棉沥青涂层或钢壳。
2、钢架：用以保持炉型和支持炉墙、管子、顶盖、吊架、扶梯、平台等各个系统。钢架是根据各种炉型，用不同的型钢焊接而成。
热科炉业(图)|高频炉用石英管|管式炉由郑州热科炉业有限公司提供。郑州热科炉业有限公司（www.rekelu.cn）是专业从事“加热设备,耐火材料,加热元件,陶瓷制品,仪器仪表,真空设备”的企业，公司秉承“诚信经营，用心服务”的理念，为您提供优质的产品和服务。欢迎来电咨询！联系人：吕经理。