方法的优缺点比较
各种方法都有其有缺点：从大的方面讲，直接PECVD法对样品表面有损伤，会增加表面少子的复合，但是也正是由于其对表面的轰击作用，可以去除表面的一些自然氧化层，使得表面的杂质原子得到抑制，管式炉膛，另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中，使得晶界钝化更充分。
使用不同频率的PECVD系统，也各有一定的优缺点：
（1）频率越高均匀面积越小，越难于达到大面积均匀性。
（2）频率越低对硅片表面的损伤越严重。
（3）频率越低离子进入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的钝化。
管式加热炉主要结构
燃烧器结构及作用：
燃烧器是管式加热炉的重要部件之一，加热炉所需热量是通过燃料在燃烧器中燃烧得到的，一个完整的燃烧器包括燃料喷嘴、配风器和燃烧道三个部分。
1、喷嘴的主要任务是燃料油雾化并形成便于与空气混合的良好条件。
2、配风器是分配和输送燃烧空气的机构，其作用是供给燃料适量的空气，管式炉法，并使空气和燃料迅速完善的混合。用于烧油的配风器将供给的空气分成一次风和二次风.一次风解决着火、稳燃和减少碳黑生成等问题，cvd管式炉，二次风供给大量空气以保证完全燃烧。
3、燃烧道的耐火材料蓄积的热量为火焰根部提供热源，黑龙江省管式炉，加速燃料油的蒸发和着火，有助于形成稳定的燃烧；其次它能约束空气，迫使其与燃料混合而不止散溢；第三是与配风气一起使气流形成理想的流型。
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