什么是顶烧炉？
答：制氢转化炉是制氢装置的关键设备，大多采用顶烧炉，其辐射室为箱式结构，燃烧器布置在炉顶，一排燃烧器，一排炉管顺序布置。制氢转化炉的操作条件是最苛刻的，转化管系统都是高铬镍合金材料，湖南省管式炉，因此采用单排管双面辐射型炉，可以避免局部过热，使炉管周向和轴向温度分布均匀，管式炉膛，提高炉管的利用率。实际上，制氢转化炉是一个多管并流的外加热式反应器，炉管内装有催化剂，管内介质一边吸热，一边进行着复杂的化学反应。
方法的优缺点比较
各种方法都有其有缺点：从大的方面讲，直接PECVD法对样品表面有损伤，1200管式炉，会增加表面少子的复合，但是也正是由于其对表面的轰击作用，可以去除表面的一些自然氧化层，使得表面的杂质原子得到抑制，另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中，使得晶界钝化更充分。
使用不同频率的PECVD系统，管式炉法，也各有一定的优缺点：
（1）频率越高均匀面积越小，越难于达到大面积均匀性。
（2）频率越低对硅片表面的损伤越严重。
（3）频率越低离子进入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的钝化。
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